工人在生产车间操作。

日前,石柱自治县长捷电子光阻法半导体芯片生产线实现量产,填补了石柱半导体芯片及微电子产业空白。

近日,记者在生产车间看到,工人们正在各自岗位上对晶圆进行光刻及多介质薄膜生长操作,加紧生产一批新订单产品。

据了解,长捷电子是一家主要从事先进功率保护器件芯片及封装制造的专业化高科技企业,是国内少数生产、制造GPP-STD、SF、FR、HER、Rectifier等高端半导体分立器件芯片的规模企业之一。产品主要用于照明LED、家用电器、消费类电子品、开关电源、汽车电子、太阳能光伏等领域。

长捷电子光阻法半导体芯片生产线项目,自2022年1月设计建设,于今年6月正式投产,总投资1000万元。该项目建设百级净化区约200平方米,新增全自动LPCVD、自动清洗机、全自动涂胶机、自动刻蚀机、全自动显影机、自动光刻机、钝化炉及配套设备若干,具有年产5英寸光阻法半导体芯片60万片的生产能力。

据介绍,光阻法半导体芯片生产主要包括光刻、湿法清洗、湿法腐蚀制程及低压化学气相沉积(LPCVD)工艺,是生产半导体芯片的核心工序,主要包括晶圆表面进行高纯度清洗、光刻及表面多介质氮化硅膜的生长。与传统工艺相比,该生产线的产品具有在应用环境下可靠性高的特性,其耐高温性高于传统产品25%-30%。

“目前建成产能已达设计产能的70%-75%,产品主要销往国内及韩国、印度等市场,年销量达 360万件 。” 长捷电子副总经理刘宁介绍,下一步,该公司将扩大产品种类,计划新增MOSFET、TVS、SBD等更高端的产品,为国内提供更多的芯片解决方案和服务,进一步扩大国际市场。

据了解,该项目满负荷运转后,年产值可达1.8亿元。

(记者 文星龙 通讯员 李玉霞 王睿 文/图)